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Sequenziale Magnetron Sputtering rivestimento linea di produzione

Sequenziale magnetron sputtering linea di produzione di rivestimento viene applicato principalmente in lastra di vetro, acrilico, di alta qualità, ottima prestazione di film mentali (PC, PE), pellicola schermo elettromagnetico, pellicola riflessione, pellicola composita, NESA, pellicole antiriflesso, etc.

Descrizione

Sequenziale magnetron sputtering rivestimento linea di produzione utilizza il snella planare magnetron catodico e C-MAG cilindrica sputtering cathode.

Applicazione

Sequenziale magnetron sputtering linea di produzione di rivestimento viene applicato principalmente in lastra di vetro, acrilico, di alta qualità, ottima prestazione di film mentali (PC, PE), pellicola schermo elettromagnetico, pellicola riflessione, pellicola composita, NESA, pellicole antiriflesso, etc.

Vantaggi

1. camera di rivestimento adotta la struttura unitaria, che può registrare catodo e pompa pacchetto in termini di diverso processo requirements.
2. magnetron sequenziale linea di produzione di rivestimento sputtering utilizza la snella planare magnetron catodico e C-MAG cilindrica sputtering cathode.
3. La struttura del catodo deflettore salva il ciclo di materiale bersaglio sostituzione e processo cleaning.
Componente interna 4. Alta qualità non è solo ridurre i costi di fabbricazione, uso economicamente, ma ridurre i tempi ei costi di recupero fallimento.

Caratteristiche

1. Tipo: orizzontale-tipo e tipo verticale-
2. Ciclo di produzione: 60s
3. Capacità: Produzione annuale & gt; 2000.000 m2
4. Specifica massimo di vetro 9000 mm x 2.540 millimetri;
5. Film Uniformità: ≤ ± 5% (zona di deposizione efficace)
6. catodo Struttura: frequenza Mid rotazione doppia catodo, catodo pannello, ecc
7. Trasmissione Modello: Rotella design
8. modello di implementazione: termoriflettente rivestimento macchina specchio, che riflette il calore temperable prodotti specchio, unico argento film a basso irraggiamento production
9. Sistema di controllo: conversazione uomo-macchina è disponibile e noi intervenire nel processo di funzionamento, in cui sollecito allarme e indicatore di guasto può aiutare gli operatori per richiedere il corretto funzionamento e la risoluzione dei problemi.

Parametri